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High precision air floating platform system

高精密气浮平台系统

高细密气浮工作平台设备

High precision air floating platform system

 产品设备讲述:C9000H平行线高压直流无刷电机驱使暖空气轴套手机平台在垂线外表和程度外表一瓶分为了有效性的预读取办理。它可提高明确的高刚需,是方法重载和偏置负荷软件应用的不错使用。默认设置的平行线步进驱动器高压直流无刷电机分为了零齿槽滞后效应的无铁芯构成,无吸纳力,提高非常的优越的平整光滑自行车运动。 特性完成指标:

行程范围:  50 mm\ 100 mm\ 200 mm\ 300 mm\ 400 mm\ 500 mm  
驱动系统:  直线伺服电机 (PAEKER-9000-A-668H)
反馈:  非接触直线光栅尺
分辨率: 0.001 μm -0.2 μm  
最大行程速度:  3m/s (80 in/s)
最大直线加速度:  2 g -20 m/s2  (无负载)
最大负载:  55.0 kg
连续保持推力:  153.6 N
峰值推力:  742.8 N
全行程精度:   ±0.2 μm ~ ±20.0 μm   
重复定位精度:  ±0.1 μm~±0.3 μm 
直线度和平面度: 最大偏差  ±0.25 μm ~ ±2.0 μm
倾斜度/滚摆/偏摆: ±0.5 arc sec ~ ±5 arc sec 
空气轴承工作压力: 80 psi (5.5 bar) ±5 psig (0.3 bar)
空气消耗量: <2 scfm
平台质量: 120.7 kg ~ 156.5 kg